トリクロロシラン（Trichlorosilane）とは

トリクロロシラン（Trichlorosilane）は、化学式SiHCl₃で表される無機化合物で、シリコン化合物の一種です。常温では無色の液体で、強い刺激臭を持ちます。水分と反応してシリカ（二酸化ケイ素）と塩酸を生成するため、水分と接触しないように取り扱う必要があります。

主な用途は、半導体産業におけるシリコンウェハの製造や、シリコーンゴム、シリコーン樹脂、光ファイバーの製造過程で使用されることが多いです。また、トリクロロシランはシリカの表面を改質するためにも用いられ、化学的な表面処理に利用されます。

トリクロロシランは、シリコンの供給源としても非常に重要で、例えば太陽光発電のためのシリコンソーラーパネルの製造にも使用されます。非常に反応性が高いため、取り扱いには慎重を要し、密閉された設備での作業が推奨されます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。