ピエゾステージとは

ピエゾステージ（Piezo Stage） は、ピエゾ素子（圧電素子）を利用して、ナノメートル単位の高精度な位置決めを可能にする精密ステージです。主に半導体製造、光学顕微鏡、レーザー加工、精密計測などの分野で使用されます。

ピエゾ素子は電圧を加えると伸縮する性質を持っており、この微小な変位を利用して従来のモーター駆動ステージでは実現できない高精度かつ高速な位置決めを行います。また、摩擦のない非接触駆動のため、長寿命でメンテナンスが少なく済むのも特長です。

ピエゾステージの特長
・ナノメートルレベルの精度
1 nm以下の微細な動作制御が可能
・高速応答
瞬時に動作し、繰り返し精度が高い
・摩擦・バックラッシュなし
機械的な摩耗がないため耐久性が高い
・コンパクトな設計
小型かつ軽量で、装置内に組み込みやすい

ピエゾステージの使用用途

✅半導体製造装置での使用
ピエゾステージは、ウェハーの位置を精密に調整するために使用され、微細なパターン形成を実現します。
✅光学顕微鏡のフォーカス調整
光学顕微鏡において、ナノメートル単位でのフォーカス移動を実現し、高解像度観察を可能にします。
✅レーザー加工機のビーム位置制御
ピエゾステージにより、レーザービームを微細かつ高速で調整し、精密加工を可能にします。
✅バイオテクノロジーでの細胞操作
細胞の観察や操作で、極めて繊細な位置決めを行うために利用されます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。