エッチング装置 / メーカー24社一覧
エッチング装置とは
エッチング装置は、半導体などの製造工程でエッチングに使用される装置です。フォトリソグラフィーにはエッチング装置が不可欠になり、シリコンやガリウムヒ素ウェーハに形成された薄膜の一部が削り取られています。 近年の電子機器の機能化に伴い、エッチングにはより微細な加工が求められています。 さらに、プロセスが複雑なため、1つの電子部品を製造するために多くのエッチングデバイスが使用されることがよくあります。
エッチング装置の使用用途
エッチング装置は、半導体、集積回路、プリント回路基板、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの電子デバイスの製造に使用されます。 これらのメーカーではフォトリソグラフィーが使用されており、エッチングはプロセスの一部です。エッチング工程では、ウェーハ上の酸化膜にレジストがコーティングされている部分が残り、レジストのない部分が剥がれる。 凹凸があり、模様が形成されています。
エッチング装置のメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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JAPAN CREATE Co.,Ltd
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会社情報
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ULVAC (THAILAND) LTD.
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CANON ANELVA CORPORATION
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JSW AFTY Corporation
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Showa Shinku Co.,Ltd.
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