成膜装置 / メーカー10社一覧
成膜装置とは
フィルム形成装置は、文字通りフィルムを作成する装置です。薄膜の厚さ、必要な純度、有機物、無機物に応じて、さまざまな皮膜形成装置が開発されてきました。半導体関連材料など、高純度で均一な膜が必要な場合は、高真空皮膜形成装置を使用します。一方、大量生産が必要なフィルムなどの製品には、ロールツーロール方式やバッチ方式が採用されています。また、溶液を乾燥させてフィルムを形成する場合、スピンコーティングタイプやインクジェットタイプなど、溶液を塗布してから乾燥させてフィルムを形成する装置もある。
成膜装置の使用用途
高純度金属酸化物用の皮膜形成装置とフィルム製造用の皮膜形成装置があります。半導体部品のように薄くて均一で高純度の金属酸化物を蒸着する必要がある場合は、高真空皮膜形成装置を使用します。また、車のヘッドランプやカメラレンズでの光の反射を抑えるために、表面に薄い金属反射膜を形成する際にも高真空皮膜形成装置を使用しています。一方、フィルムを形成するロールツーロールタイプやバッチタイプなどの製品には、マイクロメートルオーダーの厚さの樹脂フィルムや薄い金属箔があります。
成膜装置のメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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Toho Machinery Co., Ltd.
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会社情報
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CHEMITRONICS CO. , LTD.
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会社情報
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JSW AFTY Corporation
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会社情報
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ULVAC (THAILAND) LTD.
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会社情報
