スピンコータとは

スピンコータは、基板表面に均一な薄膜を形成するための装置です。主に半導体製造、光学デバイス、マイクロエレクトロニクス、コーティング産業などで使用されます。この装置は、基板を高速回転させながらコーティング液を均等に広げ、均一な薄膜を形成します。コーティング液は通常、化学物質、ポリマー、または光学材料であり、特定の膜厚や特性を得るために調整されます。

スピンコータの特徴は、回転速度や時間、コーティング液の粘度を細かく制御できる点です。これにより、ナノスケールの精度で膜厚を調整できます。用途によっては、異なる基板サイズや材料に対応するためのオプションも提供されています。スピンコータは、高い再現性と効率性を備えた装置として、研究開発や産業プロセスにおいて不可欠な役割を果たしています。

スピンコータの使用用途

✅半導体製造
フォトレジスト膜の形成に使用され、基板に均一なレイヤーを作成します。これにより、リソグラフィ工程での微細パターンの正確な形成が可能になります。
✅光学デバイス製造
光学コーティング液を基板に塗布し、反射防止膜や色素感光性フィルムを作成します。特にレンズやセンサー製造で使用されます。
✅バイオセンサー開発
バイオセンサーの製造過程で、検出物質を基板上に均一に塗布する際に使用されます。これにより、高感度なセンサーの性能を保証します。
✅ディスプレイ製造
OLEDやLCDパネルの製造工程で、透明導電膜や保護膜の形成にスピンコータが使用されます。これにより、パネルの性能や耐久性が向上します。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。