蒸着装置 / メーカー7社一覧
蒸着装置とは
薄膜蒸着装置を用いた真空蒸着は、真空条件下で物体の表面に蒸着し、皮膜形成材料を蒸発させて物体上に膜を形成する物理蒸着法(PVD法)の1つである。 真空蒸着は最も簡単なPVD法です。 真空堆積は膜中に不純物を含む傾向があるため、真空条件下でチャンバーに含まれる不純物を可能な限り減らし、膜を堆積する前に物体の表面の不純物を除去することが重要です。 真空化の利点は、他のPVD方式よりも簡単で、時間が比較的短いことです。
蒸着装置の使用用途
蒸着装置は、アルミニウム、クロム、金、銀、銅などの金属材料を蒸着することができます。 これらの材料で作られたフィルムは、半導体、有機ELディスプレイ、液晶パネルなどに使用されています。 また、レンズ用の反射防止フィルム、ガラス上にアルミニウムを薄膜化したミラー、ビデオテープなどの磁気テープも蒸着装置で製造されています。
蒸着装置のメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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ULVAC (THAILAND) LTD.
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SANYU SWITCH CO., LTD.
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Showa Shinku Co.,Ltd.
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