真空スイッチとは

真空スイッチは、真空状態や低圧環境下で動作する圧力スイッチの一種で、圧力が設定した真空値に達したときにスイッチをオンまたはオフに切り替える装置です。通常の圧力スイッチは大気圧や高圧に対応していますが、真空スイッチは、真空装置や低圧環境下での圧力変化を検出するために特化して設計されています。真空スイッチは、真空状態の監視、制御、保護などの目的で幅広い分野で使用されています。真空スイッチは、内部の圧力センサーが真空レベルを検出し、その結果に応じてスイッチを操作します。例えば、真空ポンプの運転開始や停止、真空チャンバー内の圧力が過度に低下した場合の警報発信、システムの安全装置の作動などが挙げられます。真空スイッチは非常に敏感で、微細な圧力変動にも反応し、正確に制御できるため、真空関連のシステムにおいては不可欠な部品となっています。

代表的な使用例としては、真空ポンプや真空包装機、電子機器の真空装置、および半導体製造装置などがあります。これらの機器では、一定の真空状態を維持することが求められるため、真空スイッチは重要な役割を果たします。また、真空スイッチは、システムの過圧や低圧によるトラブルを未然に防ぐため、安全性を確保するためにも重要です。

真空スイッチの使用用途

✅真空ポンプ
真空スイッチは真空ポンプの運転を制御するために使用されます。真空圧力が設定した閾値を下回った場合、スイッチが作動してポンプのオン・オフを制御し、最適な運転状態を維持します。
✅真空包装機
食品包装機器では、真空スイッチが真空状態を監視し、包装機内の圧力が低すぎたり高すぎたりする場合に安全装置を作動させて、正確な包装が行われるようにします。
✅半導体製造装置
半導体の製造過程では、真空チャンバー内の圧力を維持するために真空スイッチが使用されます。圧力が設定範囲外になると、アラームが発生したり、プロセスが停止して機器を保護します。
✅医療機器（真空システム）
医療機器、特に吸引装置では真空スイッチが吸引システムの真空圧力を監視します。圧力が高すぎたり低すぎたりすると、スイッチが作動してシステムが安全な範囲で運転されるようにします。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。