レーザー干渉計とは

レーザー干渉計は、サンプルの表面形状を分析するために使用されるデバイスです。デバイスに組み込まれた光源から出力されるレーザー光は、ビームスプリッターと呼ばれる特殊なミラーによって2つに分割されます。次に、一方をサンプルの表面に直接塗布し、もう一方をビームスプリッターで1回反射してから照射します。このとき、2つのレーザービームの光路長に差があります。また、2つの波が重なると、波の位相に応じて干渉パターンが変化します。この干渉パターンは光路長によって変化するため、試料表面の凹凸により敏感に変化します。したがって、干渉パターンからサンプル表面の形状を分析することが可能です。

レーザー干渉計の使用用途

レーザー干渉計は、レンズ表面の分析などに使用されます。レーザー干渉計は、固体サンプルの表面形状を分析するために使用されます。たとえば、カメラレンズやコンタクトレンズなどの精密な形状制御が必要なレンズの表面解析や、DVDディスクやガラスの表面形状測定にも使用されています。レーザー干渉計は、平面、球、半球などのサンプルの形状に関係なく測定できるため、幅広い分野の表面分析に使用されます。液体や粗い表面のサンプルの測定には適していません。一方、液体サンプルや未研磨サンプルの測定には、外部振動やサンプル表面の変動、粗さなどにより測定結果が変動しやすいため、あまり使用されていません。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。