อุปกรณ์ทำความสะอาดสารกึ่งตัวนำคืออะไร?

เครื่องล้างเซมิคอนดักเตอร์ เป็นอุปกรณ์ที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้เพื่อขจัดสิ่งสกปรกและสิ่งปนเปื้อนที่ละเอียดจากเวเฟอร์ (แผ่นซิลิกอน) และส่วนประกอบอื่นๆ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พื้นผิวของชิ้นส่วนต้องสะอาดมากเพื่อให้สามารถสร้างวงจรที่มีความละเอียดและแม่นยำสูงได้ กระบวนการล้างจะใช้วิธีการทางเคมี, กลไก หรือคลื่นเสียงอัลตราโซนิกในการขจัดสิ่งตกค้างต่างๆ เช่น น้ำมัน, ฝุ่น และสารเคมีที่เหลือจากกระบวนการก่อนหน้า

เครื่องล้างบางชนิดจะใช้การจุ่มเวเฟอร์ในสารละลายเคมีหรือพ่นสารละลายลงบนพื้นผิวของเวเฟอร์ ในปัจจุบัน เทคโนโลยีการล้างที่ใช้สารละลายที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม เช่น น้ำกำลังได้รับความนิยม ซึ่งช่วยลดการใช้สารเคมีอันตรายและทำให้สภาพแวดล้อมการทำงานปลอดภัยขึ้น ในขณะเดียวกันยังคงรักษาความแม่นยำในการทำความสะอาด

เครื่องล้างเซมิคอนดักเตอร์มีบทบาทสำคัญในการปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และลดอัตราข้อบกพร่อง โดยเฉพาะในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีขนาดเล็กและซับซ้อน

การใช้งานอุปกรณ์ทำความสะอาดสารกึ่งตัวนำ

ตัวอย่างการใช้งาน เครื่องล้างเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่:
１．การล้างเวเฟอร์: ในขั้นตอนแรกของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เวเฟอร์ (แผ่นซิลิกอน) จะถูกทำความสะอาดเพื่อขจัดฝุ่นและสารเคมีที่ตกค้างอยู่บนพื้นผิว ซึ่งจะช่วยเพิ่มความแม่นยำในการดำเนินกระบวนการฟอโตลิโซกราฟีและการกัดกร่อนในขั้นตอนถัดไป และรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์
２．การล้างฟิล์มโลหะ: ในกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มโลหะจะถูกสร้างขึ้นโดยการระเหยหรือการพ่น (สปัตเตอร์ริ่ง) การใช้เครื่องล้างจะช่วยขจัดสิ่งสกปรกและสารตกค้างบนพื้นผิวของฟิล์มโลหะ ซึ่งช่วยให้พื้นผิวโลหะสะอาดและลดข้อบกพร่องในกระบวนการถัดไป
３．การขจัดสารเคมีที่เหลือ: หลังจากกระบวนการกัดกร่อนหรือการใช้กรด เครื่องล้างจะถูกใช้เพื่อขจัดสารเคมีหรือสารละลายที่เหลืออยู่บนเวเฟอร์ ซึ่งช่วยป้องกันปัญหาที่อาจเกิดขึ้นในขั้นตอนถัดไปและเพิ่มความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์สุดท้าย

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า