モノシラン（Monosilane）とは

モノシランは、化学式 SiH₄ で表されるケイ素の水素化物で、最も単純なシランです。無色で可燃性が非常に高く、空気中では自然発火する性質を持ちます。毒性もあり、吸入すると健康に悪影響を及ぼす可能性があるため、厳重な管理が必要です。主に半導体や太陽電池の製造過程で、薄膜シリコンの原料として使用されており、CVD（化学気相成長）法でアモルファスシリコンや多結晶シリコンを形成する際に重要です。また、表面処理やコーティング技術にも利用されることがあります。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。