位置決めステージとは

位置決めステージは、物体や装置の位置を高精度で調整・制御するための装置です。X軸、Y軸、Z軸、あるいは回転軸方向への微細な動きを実現し、リニアモーター、ボールネジ、ピエゾ素子などの駆動方式を用いることで、ナノメートルレベルの精密な動作が可能です。これにより、試料の観察、加工、測定などで正確な位置調整が求められる作業に対応します。位置決めステージは、半導体製造、光学測定、医療機器、研究開発など、さまざまな分野で重要な役割を果たしています。

位置決めステージの使用用途

✅半導体製造装置でのウェハー配置
半導体の製造工程でウェハーを正確に配置することで、高品質な回路パターン形成を実現します。
✅光学測定装置でのレンズ調整
精密なレンズ配置を行い、光学性能を最適化します。
✅生物学的試料の顕微鏡観察
細胞や微生物の位置を調整し、観察や実験を行います。
✅レーザー加工装置での部品配置
部品の正確な配置を行うことで、加工精度を向上させます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。