ポーラスチャック / メーカー8社一覧
ポーラスチャックとは
多孔質チャックは測定・加工対象物を吸着する機能があり、検査装置やダイシングソーなどに使用されています。 負圧とテーブル表面の多孔質構造を利用することで、薄いシリコンウェーハを平らに保持することができます。 ダイシングソーを使用する場合、シリコンウェーハを10～20μmの幅で切断するため、シリコンウェーハの吸着面には平行度や平面度が要求されます。 薄い物を傷付けずに変形させずに吸着・固定することに優れています。
ポーラスチャックのメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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NTK CERATEC CO., LTD.
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会社情報
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Nishimuradenki Co.,Ltd.
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会社情報
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MORISHIN INDUSTRIES LTD.
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会社情報
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KOKUSAI DENGYO CO.,LTD
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会社情報
