ポーラスチャックとは

ポーラスチャック（Porous Chuck）は、精密な金属加工や機械加工の際に使用される固定具で、特に 真空吸着技術を利用して対象物を固定するタイプのクランプ装置です。ポーラスチャックは、チャックの表面に微細な穴（ポア）を開け、内部に吸引力を発生させることで、加工物を安定して保持します。

このチャックの利点は、均等な吸着力を提供し、形状や大きさが不規則な部品にも対応できる点です。真空ポンプやエア供給装置を使って吸引力を発生させるため、機械的な固定力を必要とせず、クランプ跡や変形を防ぐことができます。また、加工後に簡単に部品を取り外すことができるため、作業効率が向上します。

ポーラスチャックは特に以下のような作業に適しています：
１．精密部品の加工：電子機器の部品や高精度な金型の加工など。
２．複雑な形状の保持：不規則な形をした部品や多孔質な素材を安定して保持できる。
３．高速加工：吸引力で素早く部品を固定できるため、高速回転や切削が必要な場合でも使用されます。

さらに、ポーラスチャックは製品をクランプする際の圧力を調整できるため、デリケートな部品でも優しく取り扱うことが可能です。

ポーラスチャックの使用用途

✅ 半導体製造
シリコンウェハーを固定しながら研磨や薄膜形成を行う際に使用されます。
✅ 精密加工
光学部品やレンズの加工時に、素材を高精度に保持します。
✅ 電子デバイス製造
薄いフィルムやフレキシブル基板の切断やレーザー加工に使用されます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。