真空ゲートバルブとは

真空ゲートバルブは、真空環境での流体の流れを制御するために使用されるバルブの一種です。このバルブは、主に真空装置や真空システムにおいて、流体の遮断や開放を行う役割を持っています。真空ゲートバルブは、ゲート（板状のバルブ）がスライドして開閉する構造を持ち、流体の通過を効果的に遮断することができます。このバルブは、特に真空圧力が必要な半導体製造装置や真空蒸着装置などで利用されます。また、動作時のリークが少なく、非常に高い密閉性能が求められます。

真空ゲートバルブの使用用途

✅ 半導体製造装置
真空環境での精密な制御が必要なため、真空ゲートバルブが使用されます。
✅ 真空蒸着装置
真空状態で物質を蒸着する際に、真空ゲートバルブが流体の遮断に使用されます。
✅ 電子機器の真空チャンバー
真空状態を維持するために、真空ゲートバルブがチャンバーの開閉に利用されます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。