真空ゲートバルブとは

主に真空装置や半導体製造装置において、複数の真空室間、または真空室と大気側環境とを仕切るための弁体です。 ゲートバルブには開閉形式、開閉力、弁体の構造などさまざまな種類があります。 ゲートバルブは弁体両端の圧力差、開閉速度、開閉時に発生するゴミや塵の量、耐熱性、耐薬品性などを考慮して選定してください。 サイズは直径数十ミリの小型のものから、フラットパネルディスプレイの製造装置に使用される幅数メートルの大型のものまで幅広い。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。