真空フランジとは

真空フランジは、装置内を真空環境にしたい場合に装置を覆い、ガス漏れを防ぐために使用する部品です。 NW、KF、ICF、JISなど様々な規格があり、用途に応じて使い分けられています。 まず、低真空から高真空領域で使用される配管や継手部品にはNW規格とKF規格が採用されています。 フランジを締結するにはカップリングと呼ばれる装置を挿入します。 一方、ICF規格やJIS規格はフランジの締結にボルトを使用するため、ガス漏れが少なく、高い真空度を維持できます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。