真空フランジとは

真空フランジは、真空システムの接続部分に使用される部品で、複数の装置を接続して真空環境を作り出すために必要です。真空フランジは、真空ポンプ、配管、チャンバー、計測機器などを密閉接続するために用いられます。通常、真空フランジは金属製で、内部にガスや気体が漏れないように密封する機能を持っています。フランジ同士はボルトやナットで固定され、パッキンやOリングを使って気密性を確保します。これにより、高い真空度を維持し、外部の空気や汚染物質がシステムに入るのを防ぎます。真空フランジは、さまざまなサイズや形状があり、用途に応じて選択されます。

真空フランジの使用用途

✅ 真空チャンバーの接続
真空チャンバーや実験機器を接続するために真空フランジが使用されます。例えば、科学実験や製造工程で真空環境を作る際に、フランジを使用して異なる機器を密閉接続します。
✅ 真空ポンプとの接続
真空ポンプを他の装置と接続する際に使用されます。フランジがあることでポンプからの気密接続が可能となり、高い真空度を維持できます。
✅ 真空包装装置
真空包装機では、真空フランジを使用して包装内部を完全に密閉し、食品や商品が長期間保存できるようにします。
✅ 半導体製造
半導体の製造工程で使用され、真空環境が必要な製造プロセスを支えます。フランジがシステム内で機器を接続し、効率的な生産を可能にします。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。