スパッタリング装置 / メーカー10社一覧
スパッタリング装置とは
スパッタリング装置は、物体の表面に非常に薄い膜を均一に作成する装置です。主に半導体や液晶の皮膜形成に使用され、真空蒸着やイオンプレーティングと同じ物理蒸着法（PVD法）のひとつです。スパッタリング装置を用いた皮膜形成の強みは、膜厚を高精度に均一にすることができ、電気的作用を利用することで膜を耐久性のあるものにすることができることです。これは、膜形成によく使用される蒸着装置に似ていますが、高融点金属または合金材料の膜を形成できるという利点があります。 また、オブジェクトの表面をきれいにするために使用される場合があります。
スパッタリング装置の使用用途
半導体、液晶、プラズマディスプレイなどの薄膜は、スパッタリング装置で製造されています。スパッタリング装置は、高融点の金属や合金を形成できるため、用途が広いです。最近では、プラスチック、ガラス、フィルムの表面に金属を形成して導電性を持たせたり、透明電極やタッチパネルの配線にも使用されており、スパッタリング装置への応用範囲はさらに広がっています。
スパッタリング装置のメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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CANON ANELVA CORPORATION
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会社情報
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Toyoko Kagaku Co., Ltd.
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会社情報
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ULVAC (THAILAND) LTD.
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会社情報
