ピラニ真空計とは

ピラニ真空計は、低真空領域の圧力を測定するための装置で、熱伝導率を利用した原理に基づいています。主に、センサー内部に配置された加熱されたフィラメント（抵抗線）が気体によって冷却される特性を利用し、圧力が低下するにつれて気体分子が減少することで冷却効果が減少し、フィラメントの温度や抵抗値が変化する仕組みです。この変化を電気信号として検出し、真空度を測定します。ピラニ真空計は低真空から中真空の範囲（おおよそ1000Pa〜0.1Pa）での測定に適しており、半導体製造、真空装置の保守、研究開発分野など幅広い産業で利用されています。

ピラニ真空計の使用用途

✅半導体製造
半導体製造装置で真空状態を維持しながら、適切な圧力を監視・制御するために使用されます。
✅真空装置の保守点検
真空ポンプや真空チャンバーの圧力状態を測定し、システムが適切に機能しているか確認します。
✅研究開発分野
研究室や大学の実験設備で、低真空環境を必要とする物理・化学実験に利用されます。
✅コーティング技術
真空蒸着装置やスパッタリング装置において、コーティングプロセス時の真空度を正確に測定・維持します。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。