超音波顕微鏡とは

超音波顕微鏡は電子顕微鏡よりも解像度が低くなりますが、光学顕微鏡よりも高解像度で微細な領域を測定・観察できる装置です。また、試料表面だけでなく、表面下の内部構造も非破壊的に観察することができます。 超音波顕微鏡には、レーザー走査型音響顕微鏡（SLAM）と機械式走査型音響顕微鏡が含まれます。 SAM。 SAMは、サンプル表面を超音波で機械的にスキャンして、サンプルからの乱れた反射波を検出します。一方、SLAMは超音波の乱れた反射波をレーザー光線で検出します。

超音波顕微鏡の使用用途

超音波顕微鏡は、電子部品の内部検査、一般材料の内部検査、接着性の確認に使用されます。どちらも、接着面の亀裂、ボイド、剥離などを検出するために使用されます。 超音波は、物質が連続している領域では減衰しながら波が伝播するという性質がありますが、ギャップなどの非連続な領域では伝播できず、ほとんどが境界面で反射します。そのため、剥離部やボイドに反射した反射波を検出することができます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。