走査型電子顕微鏡 / SEMとは

走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）は、物質の表面を高解像度で観察するための電子顕微鏡です。この顕微鏡は、試料の表面を走査する電子ビームを利用して、得られた二次電子や反射電子を検出することによって画像を生成します。SEMは、光学顕微鏡よりもはるかに高い解像度を持っており、数ナノメートルのサイズまでの観察が可能です。

SEMの動作原理は、電子ビームを試料表面に照射し、試料から放出される二次電子、反射電子、または特性X線を検出することに基づいています。これらの信号から得られる情報を解析し、画像化することで、試料の微細構造や表面の形態を詳細に観察することができます。SEMは、微細な表面構造、形状、化学的成分などを調べるための非常に有効なツールです。

この技術は、材料科学、バイオロジー、半導体産業などさまざまな分野で広く使用されており、表面の欠陥検出や微細構造の解析に役立ちます。また、金属、プラスチック、セラミックなど、多くの異なる材料に適用できます。

走査型電子顕微鏡 / SEMの使用用途

✅材料科学における微細構造の解析
SEMは、金属や合金の微細構造を観察するために使用されます。例えば、鋼の表面のクラックや欠陥を特定したり、合金の成分分布を解析したりするのに役立ちます。
✅半導体産業における微細欠陥の検出
半導体製造において、SEMはマイクロチップの表面や内部の微細な欠陥を検出するために使用されます。これにより、製造過程で発生した問題を早期に発見し、品質管理を行うことができます。
✅バイオロジー分野での細胞観察
SEMは、生物学的なサンプルの表面構造を観察するためにも使用されます。細胞の表面の形態や組織構造を高解像度で解析することができ、医学や生物学の研究に貢献します。
✅電子機器の故障解析
電子機器が故障した場合、SEMは基板の表面を観察して、回路のショートや破損箇所を特定するために使用されます。これにより、故障の原因を迅速に突き止めることができます。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。