プローバーとは

プローバは、半導体製造工程の前工程で作製した半導体を測定するために、測定器の接触部の針を半導体の電極の正しい位置に接続する位置決め装置です。半導体の電極部分は非常に小さいので、検査装置の接触部分の針を正しい位置に置く必要があります。したがって、プローバーはポジショニングを非常に正確に制御する必要があります。

プローバーの使用用途

プローバーの使用法は、半導体を検査するときに使用されます。研究開発に使用する場合、ノイズ除去や信号漏れ防止などの高精度に測定でき、大量生産に可能な限り柔軟に測定できるタイプを使用する場合。高速かつ迅速な処理が可能なタイプの中から適切に選択する必要があります。測定する半導体が高温・低温で正しく動作することを確認するためには、プローバ側も耐熱性が求められます。パワーデバイス用の半導体の測定に使用する場合、高電圧、低インピーダンスのプローバが必要です。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。