อุปกรณ์การผลิตสารกึ่งตัวนำคืออะไร?

อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คือเครื่องมือที่ใช้ในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์เหล่านี้จะสร้างวงจรขนาดเล็กบนแผ่นซิลิคอนเพื่อผลิตวงจรรวม (IC) และทรานซิสเตอร์ อุปกรณ์หลักที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ เครื่องถ่ายภาพแสง, เครื่องกัด (Etching), เครื่องเคลือบ (Deposition) และ เครื่องล้าง.

เครื่องถ่ายภาพแสง ใช้ในการถ่ายโอนลวดลายวงจรไปยังแผ่นซิลิคอนที่ทาโฟโตเรซิสต์
เครื่องกัด ใช้ในการลบวัสดุที่ไม่ต้องการออกจากแผ่นซิลิคอนตามลวดลายวงจร
เครื่องเคลือบ ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางๆ ให้เป็นชั้นเรียบที่ผิวของแผ่นซิลิคอน
เครื่องล้าง ใช้ในการลบสิ่งสกปรกและสารตกค้างที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการผลิต
อุปกรณ์เหล่านี้ทำงานด้วยความแม่นยำสูงและความเร็วในการผลิตที่รวดเร็ว โดยพัฒนาอย่างต่อเนื่องเพื่อตอบสนองความต้องการของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย ซึ่งต้องการวงจรที่มีขนาดเล็กลงและซับซ้อนยิ่งขึ้น อุปกรณ์การผลิตล่าสุดใช้เทคโนโลยีต่างๆ เช่น การถ่ายภาพแสงยูวีสุดขีด (EUV) และการสะสมชั้นอะตอม (ALD) เพื่อให้ได้ความละเอียดในระดับนาโนเมตร

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า