อุปกรณ์ซีวีดีคืออะไร?

เครื่อง CVD (Chemical Vapor Deposition) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางบนพื้นผิวของวัสดุโดยใช้กระบวนการเคมีจากไอระเหย วิธีนี้ใช้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แผงโซลาร์เซลล์ และหน้าจอแสดงผลต่างๆ ในกระบวนการ CVD จะมีการนำก๊าซที่มีปฏิกิริยาไปยังพื้นผิวที่มีอุณหภูมิสูง เพื่อกระตุ้นให้เกิดปฏิกิริยาทางเคมี ซึ่งจะทำให้ฟิล์มบางที่มีความสม่ำเสมอถูกเคลือบลงบนพื้นผิว

เครื่อง CVD จะทำให้วัสดุระเหยและจ่ายก๊าซปฏิกิริยาเพื่อกระตุ้นให้เกิดปฏิกิริยาทางเคมี ทำให้เกิดฟิล์มบางของโลหะ ออกไซด์ ไนไตรด์ คาร์ไบด์ หรือสารประกอบอื่นๆ บนพื้นผิว กระบวนการนี้ต้องการความแม่นยำและความสม่ำเสมอสูง ทำให้เป็นสิ่งสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การใช้ในกระบวนการเคลือบฟิล์มออกไซด์ซิลิกอนบน แผ่นซิลิคอน เป็นต้น

ในปัจจุบัน เทคโนโลยี CVD เช่น PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) และ ALD (Atomic Layer Deposition) ได้รับการพัฒนาเพื่อสร้างฟิล์มบางที่บางและสม่ำเสมอมากยิ่งขึ้น

การใช้งานอุปกรณ์ซีวีดี

เครื่อง CVD ใช้ในหลากหลายอุตสาหกรรม ตัวอย่างการใช้งานที่เฉพาะเจาะจง ได้แก่:
１．การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์: เครื่อง CVD ใช้ในการเคลือบฟิล์มออกไซด์ซิลิคอนหรือฟิล์มไนไตรด์ซิลิคอนบน แผ่นซิลิคอน ซึ่งฟิล์มบางเหล่านี้ทำหน้าที่เป็นชั้นฉนวนในวงจรเซมิคอนดักเตอร์
２．การผลิตแผงโซลาร์เซลล์: ในการผลิตแผงโซลาร์เซลล์ เครื่อง CVD จะใช้ในการเคลือบฟิล์ม ซิลิคอนบางๆ ลงบนแผ่นซิลิคอน ฟิล์มนี้มีความสำคัญในการดูดซับแสงและแปลงพลังงานแสงให้เป็นพลังงานไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ
３．การผลิตชิ้นส่วนเซ็นเซอร์ในอุตสาหกรรมยานยนต์: เครื่อง CVD ยังใช้ในการผลิตชิ้นส่วนเซ็นเซอร์ในรถยนต์ เช่น ฟิล์มออกไซด์ไททาเนียม หรือฟิล์มออกไซด์อะลูมิเนียม ซึ่งจะช่วยให้มีความทนทานและประสิทธิภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า