ต้านทานเคลือบคืออะไร?

เครื่องทาเรซิสต์ เป็นอุปกรณ์ที่มีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในขั้นตอนฟอตโตลิโซกราฟี ในกระบวนการนี้ วัสดุที่ไวแสงที่เรียกว่าเรซิสต์จะถูกทาอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอน จากนั้นจะใช้แสงอัลตราไวโอเลต (UV) เพื่อถ่ายโอนลวดลายลงบนเรซิสต์ เครื่องทาเรซิสต์ทำหน้าที่ในการทาเรซิสต์อย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์

โดยปกติแล้ว เครื่องทาเรซิสต์จะใช้วิธีการเคลือบด้วยการหมุน (Spin Coating) ซึ่งเวเฟอร์จะหมุนที่ความเร็วสูง และเรซิสต์จะถูกกระจายออกอย่างสม่ำเสมอ เทคนิคนี้มีประสิทธิภาพสูงในการให้ความหนาของฟิล์มที่สม่ำเสมอ นอกจากนี้ เครื่องทาเรซิสต์ยังสามารถปรับความเร็วในการทาและอัตราการหมุนเพื่อให้เหมาะสมกับประเภทของเรซิสต์ ขนาดของเวเฟอร์ และความหนาของฟิล์มที่ต้องการ

เครื่องทาเรซิสต์ต้องการการควบคุมอุณหภูมิและเวลาอย่างแม่นยำ รวมถึงความแม่นยำทางกลสูงในการสร้างวงจรเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดสูง

การใช้งานต้านทานเคลือบ

ตัวอย่างการใช้งาน เครื่องทาเรซิสต์ ได้แก่:
１．การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์: ในขั้นตอนแรกของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เรซิสต์ไวแสงจะถูกทาลงบนเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งเป็นขั้นตอนที่เริ่มต้นกระบวนการฟอตโตลิโซกราฟี การทาเรซิสต์อย่างสม่ำเสมอบนเวเฟอร์จะช่วยในการถ่ายโอนลวดลายวงจรที่ซับซ้อนไปยังพื้นผิวเวเฟอร์ เครื่องทาเรซิสต์จะทำให้เลเยอร์เรซิสต์บางและสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์
２．การผลิตวงจรรวม (IC): ในการผลิตวงจรรวม (IC) ที่มีความหนาแน่นสูง เครื่องทาเรซิสต์เป็นอุปกรณ์ที่ขาดไม่ได้ การทาเรซิสต์ที่แม่นยำจำเป็นเพื่อสร้างทรานซิสเตอร์และลวดลายวงจรที่ละเอียด การทาเรซิสต์จะได้รับการฉายแสงอัลตราไวโอเลตเพื่อสร้างลวดลายที่ต้องการ
３．การผลิตอุปกรณ์ MEMS: เครื่องทาเรซิสต์ยังใช้ในการผลิตอุปกรณ์ MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ซึ่งมีโครงสร้างที่ละเอียดมาก และต้องการการทาเรซิสต์ที่แม่นยำเพื่อสร้างลวดลายที่สมบูรณ์แบบสำหรับโครงสร้างที่เล็กมากของอุปกรณ์ MEMS

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า