エリプソメーターとは

エリプソメーターは、薄膜の厚さ、屈折率、消衰係数（吸収特性）を非接触・非破壊で測定するための光学的測定器です。この装置は偏光の変化を測定することで、材料表面の光学的特性を解析します。測定対象には半導体、光学薄膜、生物膜、化学薄膜などが含まれ、微細な層の構造や特性を高精度で解析することができます。

特に半導体製造やナノテクノロジー分野で広く利用されており、データ解析には物理的モデルを使用して薄膜の特性を数値化します。測定結果は製造プロセスの制御や材料研究に活用されます。非破壊的な特性により、試料を傷つけることなく精密な測定が可能で、リアルタイムプロセスモニタリングにも適しています。

エリプソメーターの使用用途

✅半導体製造プロセスの管理
エリプソメーターは、半導体ウェーハ上の酸化膜や窒化膜の厚さをリアルタイムで測定し、製造プロセスの制御に役立ちます。
✅光学コーティングの品質評価
レンズや光学フィルターの表面に施された薄膜の均一性や屈折率を確認するために使用されます。
✅太陽電池の開発
太陽電池に使用される薄膜の光学的特性を測定し、効率的なエネルギー変換が可能な材料開発をサポートします。
✅生体膜の研究
生体膜やポリマー膜の特性解析に使用され、医療分野やバイオテクノロジーの研究に貢献しています。

※一部商社などの取扱い企業も含みます。