エリプソメーター / メーカー9社一覧
エリプソメーターとは
エリプソメーター（英語：エリプソメーター）は、光学特性を利用して、非接触かつ非破壊的に薄膜の厚さや物質の光学定数を測定する装置です。日本語では、楕円偏光アナライザーと呼ばれています。 測定対象物の光学的正常数は、光源から測定対象物に対してある角度で光を照射し、センサーで反射光を受け取り、偏光状態の変化を測定することによって定量化されます。一般にエリプソと呼ばれる分光エリプソメーターは正しい名前です。光を透過しない不浸透性フィルムや、表面が粗く反射が不十分な場合は測定できません。
エリプソメーターの使用用途
主な用途は、光学定数の測定とそれに基づく膜厚の測定です。反射偏光を測定するため、厚さが非常に厚い（約1mm以下）物体を測定することはできませんが、一部のデバイスは薄膜の分解能が0.01 nmスケールであるため、薄膜の厚さは非常に正確です。多くの場合、測定に使用されます。 半導体製造工程での薄膜形成後、様々なコーティング、レンズなどの光学膜の光学特性、結晶化速度、組成、光学異方性などを測定することができます。デバイスによっては、液体の光学特性も測定できます。
エリプソメーターのメーカー一覧
※一部商社などの取扱い企業も含みます。
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Meiwafosis Co., Ltd.
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会社情報
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ULVAC (THAILAND) LTD.
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会社情報
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Photonic Lattice, Inc.
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会社情報
