เครื่องวัดวงรีคืออะไร?

Ellipsometer (อังกฤษ: Ellipsometer) เป็นอุปกรณ์สำหรับวัดความหนาของฟิล์มบางและค่าคงที่ทางแสงของสารในลักษณะที่ไม่สัมผัสและไม่ทำลายโดยใช้คุณลักษณะทางแสง ในภาษาญี่ปุ่นเรียกว่าเครื่องวิเคราะห์โพลาไรซ์รูปไข่ จำนวนออปติคอลปกติของเป้าหมายการวัดจะถูกหาปริมาณโดยการส่องแสงจากแหล่งกำเนิดแสงที่มุมหนึ่งไปยังเป้าหมายการวัด รับแสงสะท้อนด้วยเซ็นเซอร์ และวัดการเปลี่ยนแปลงในสถานะโพลาไรซ์ โดยทั่วไปเรียกว่า ellipso, spectroscopic ellipsometer เป็นชื่อที่ถูกต้อง ไม่สามารถวัดได้หากฟิล์มที่ซึมผ่านไม่ได้ซึ่งไม่ส่งแสงหรือหากพื้นผิวขรุขระและไม่สะท้อนแสงเพียงพอ

การใช้งานเครื่องวัดวงรี

การใช้งานหลักคือการวัดค่าคงที่ทางแสงและการวัดความหนาของฟิล์มตามค่าเหล่านี้ เนื่องจากวัดโพลาไรซ์สะท้อน จึงไม่สามารถวัดวัตถุที่มีความหนามากได้ (ประมาณ 1 มม. หรือน้อยกว่า) แต่เนื่องจากอุปกรณ์บางอย่างมีความละเอียด 0.01 นาโนเมตรสำหรับฟิล์มบาง ความหนาของฟิล์มบางจึงเท่ากับ แม่นยำสูง มักใช้สำหรับวัด เป็นไปได้ที่จะวัดหลังจากการเกิดฟิล์มบางในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบต่างๆ ลักษณะทางแสงของฟิล์มออปติคัล เช่น เลนส์ อัตราการตกผลึก องค์ประกอบ แอนไอโซโทรปีเชิงแสง ฯลฯ ของสารที่ประกอบเป็นฟิล์ม นอกจากนี้ยังสามารถวัดคุณสมบัติทางแสงของของเหลวได้ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับอุปกรณ์

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า