เครื่องวัดวงรี / เครื่อง Ellipsometerคืออะไร?

เครื่อง Ellipsometer เป็นอุปกรณ์วัดเชิงแสงที่ใช้ในการวัดความหนา ดัชนีหักเห และค่าการลดทอนแสง (คุณสมบัติการดูดกลืนแสง) ของฟิล์มบางแบบไม่สัมผัสและไม่ทำลาย โดยการวิเคราะห์การเปลี่ยนแปลงของแสงที่มีการโพลาไรซ์ จะสามารถให้ข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับคุณสมบัติทางแสงของพื้นผิววัสดุ

Ellipsometer ถูกใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มบางเชิงแสง เยื่อชีวภาพ และการเคลือบทางเคมี เพื่อวิเคราะห์โครงสร้างและคุณสมบัติของฟิล์มบางด้วยความแม่นยำสูง โดยใช้โมเดลทางฟิสิกส์เพื่อคำนวณผลลัพธ์ คุณสมบัติที่ไม่ทำลายทำให้เหมาะสำหรับการวัดแบบเรียลไทม์โดยไม่ทำลายตัวอย่าง

การใช้งานเครื่องวัดวงรี / เครื่อง Ellipsometer

✅การควบคุมกระบวนการในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
Ellipsometer ใช้วัดความหนาของชั้นออกไซด์หรือไนไตรด์บนแผ่นเวเฟอร์แบบเรียลไทม์ เพื่อช่วยควบคุมกระบวนการผลิต
✅การประเมินคุณภาพการเคลือบเชิงแสง
ใช้ในการตรวจสอบความสม่ำเสมอและดัชนีหักเหของฟิล์มบางที่เคลือบบนเลนส์และฟิลเตอร์เชิงแสง
✅การพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์
วัดคุณสมบัติทางแสงของฟิล์มบางที่ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์ เพื่อช่วยพัฒนาวัสดุที่มีประสิทธิภาพในการเปลี่ยนพลังงาน
✅การวิจัยเยื่อชีวภาพ
ใช้ในการวิเคราะห์คุณสมบัติของเยื่อชีวภาพและฟิล์มโพลิเมอร์ สนับสนุนงานวิจัยในด้านการแพทย์และเทคโนโลยีชีวภาพ

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า