อุปกรณ์ Ashingคืออะไร?

เครื่องอัชชิ่ง (Ashing Equipment) เป็นอุปกรณ์ที่สำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เพื่อลบวัสดุอินทรีย์หรือสิ่งสกปรกที่เกาะอยู่บนพื้นผิว โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกำจัดเรซิสต์ โพลิเมอร์ และออกไซด์ของโลหะที่เหลืออยู่บนพื้นผิวของเวเฟอร์และฐาน

กระบวนการอัชชิ่งจะใช้ก๊าซที่มีออกซิเจนหรือฟลูออรีนผสมกับพลาสมา ซึ่งจะทำปฏิกิริยาทางเคมีกับวัสดุอินทรีย์บนพื้นผิว ทำให้วัสดุเหล่านั้นเกิดการออกซิไดซ์หรือสลายตัวเป็นก๊าซที่ถูกนำออกจากห้องกระบวนการ อุปกรณ์อัชชิ่งต้องมีความแม่นยำสูงเพื่อให้กระบวนการรักษาพื้นผิวมีความสม่ำเสมอและควบคุมได้ เนื่องจากกระบวนการนี้มักจะเป็นส่วนหนึ่งของการผลิตที่ละเอียดอ่อน

เครื่องอัชชิ่งมีบทบาทสำคัญในกระบวนการบำบัดพื้นผิวเวเฟอร์ การทำความสะอาด และการกำจัดสิ่งสกปรก ซึ่งเป็นขั้นตอนที่ขาดไม่ได้ในการผลิตวงจรรวม (IC) และอุปกรณ์ MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ตัวอย่างเช่น ใช้ในการกำจัดเรซิสต์หลังการถ่ายภาพหรือล้างเวเฟอร์หลังจากการกัด

การใช้งานอุปกรณ์ Ashing

ตัวอย่างการใช้งาน เครื่องอัชชิ่ง ได้แก่:
１．การกำจัดเรซิสต์หลังการถ่ายภาพด้วยแสง (Photolithography): ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หลังจากกระบวนการถ่ายภาพด้วยแสง เรซิสต์จะตกค้างอยู่บนพื้นผิวเวเฟอร์ การใช้อุปกรณ์อัชชิ่งจะช่วยกำจัดเรซิสต์โดยใช้เทคโนโลยีพลาสมา ซึ่งทำให้เรซิสต์เกิดการออกซิไดซ์และกลายเป็นก๊าซเพื่อขจัดมันออกจากเวเฟอร์
２．การทำความสะอาดเวเฟอร์หลังการกัด (Etching): หลังจากกระบวนการกัด อุปกรณ์อัชชิ่งจะถูกใช้เพื่อล้างสารเคมีหรือสิ่งสกปรกที่ตกค้างบนพื้นผิวเวเฟอร์ ซึ่งจะทำให้เวเฟอร์สะอาดและพร้อมสำหรับกระบวนการถัดไป โดยไม่เกิดปัญหาจากสารตกค้าง
３．การบำบัดพื้นผิวสำหรับอุปกรณ์ MEMS: ในการผลิตอุปกรณ์ MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ซึ่งต้องการโครงสร้างขนาดเล็กที่มีความแม่นยำสูง เครื่องอัชชิ่งถูกใช้ในการกำจัดวัสดุอินทรีย์และสิ่งปนเปื้อนออกจากพื้นผิวเวเฟอร์ ซึ่งช่วยเพิ่มความแม่นยำและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ MEMS

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า