เทตราเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH)คืออะไร?

เทตราเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH) เป็นสารประกอบอินทรีย์ที่มีสูตรเคมี (CH₃)₄NOH ซึ่งเป็นเกลือแอมโมเนียมที่มีกลุ่มเมทิลสี่กลุ่ม (-CH₃) เชื่อมกับอะตอมไนโตรเจน และเชื่อมต่อกับไฮดรอกไซด์ (OH⁻) ไอออน ในสารละลายน้ำ TMAH จะแสดงความเป็นด่างที่แข็งแกร่ง และมักใช้ในเคมีอินทรีย์และอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

TMAH ใช้ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์และปฏิกิริยาคลัตเตอริก โดยเฉพาะในการทำปฏิกิริยาการดึงไฮโดรเจนออกและกระบวนการพอลิเมอไรเซชัน ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ มันมีบทบาทสำคัญในการทำความสะอาด โดยเฉพาะในการกัดชิ้นงานซิลิกอนที่ใช้ในการขจัดชั้นซิลิกอนออกไซด์

TMAH มักผลิตโดยการทำปฏิกิริยาระหว่างเกลือเทตราเมทิลแอมโมเนียมกับโซเดียมไฮดรอกไซด์ (NaOH) หรือโพแทสเซียมไฮดรอกไซด์ (KOH) ซึ่งกระบวนการนี้จะให้ TMAH ในสารละลายน้ำ การผลิต TMAH ที่มีความบริสุทธิ์สูงมักจะต้องใช้ขั้นตอนการชำระล้างหรือกรอง

TMAH มีความกัดกร่อนสูงและควรจัดการด้วยความระมัดระวัง เพราะอาจทำให้เกิดความเสียหายรุนแรงต่อผิวหนังและดวงตา การใช้เครื่องป้องกันเช่น ถุงมือและแว่นตาควรปฏิบัติตามคำแนะนำด้านความปลอดภัยระหว่างการจัดการ

รวมข้อมูลเกี่ยวกับบริษัทการค้า